피에조 스텍을 이용한 나노 포지셔너의 셀프-캘리브레이션

Self-Calibration of a Piezoelectric Actuator Based Nanopositioner

  • 정영훈 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
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  • 윤원수 (한국산업기술대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2008.11.12