한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

미세구조물 제작을 위한 집속이온빔 증착공정의 3 차원 시뮬레이션

3D Process Simulation of FIB Deposition in fabrication of nano structure

  • 한진 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이희원 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이상조 (연세대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2008.11.12
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