소형 전자빔 칼럼내 전자빔 거동 해석

Analysis of the Electron Beam in the Micro Column

  • 홍성철 (공주대학교 기계설계과) ;
  • 인재준 (공주대학교 기계공학과) ;
  • 이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)
  • 발행 : 2008.11.12