한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Sawtooth 회절 격자 가공을 위한 FAB 에칭과 다이아몬드 Scribing 방법

FAB Etching Method And Diamond Scribing For Sawtooth Gratings

  • 이차범 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 주재영 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 강진호 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 이선규 (광주과학기술원 정보기전공학부)
  • 발행 : 2008.11.12
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