한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

넓은 튜닝범위를 갖는 마이크로 구동 스위치 기반 MEMS 가변 용량기

MEMS Variable Capacitor with Micro Switching Actuator for Wide Tuning Range

  • 권지한 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실) ;
  • 정봉원 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실) ;
  • 백대현 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실) ;
  • 이재익 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실) ;
  • 은영기 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실) ;
  • 김종백 (연세대학교 기계공학과 나노기전시스템 연구실)
  • 발행 : 2008.11.12
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