한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.611-612
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
진공용 초정밀 구동 장치의 특성 평가 기술
Performance Test of Ultra-Precision Driving Unit forHigh Vacuum
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강은구
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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- 김진석 (한국생산기술연구원 e가공공정팀) ;
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홍원표
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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이석우
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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최헌종
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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Kang, E.G.
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- Kim, J.S. ;
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Hong, W.P.
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Lee, S.W.
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Choi, H.Z.
- 발행 : 2008.11.12