평삭에 의한 고종횡비 미세 채널 패턴 가공 연구

Micro Channel PatternMachining withHigh Aspect Ratio by Planning Process

  • 제태진 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 박경택 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 이강원 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
  • 발행 : 2008.11.12