미세 기계 가공에 의해 제작된 대면적 고세장비 마이크로 패턴의 미세 전주 복제 공정기술 개발

Micro Electroforming of Large Area High Aspect Ratio Micro Patterns Produced by Micro Machining Process

  • 이병수 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 한정원 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 임지석 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 한정진 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 강신일 (연세대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2008.11.12