Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.66-66
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- 2008
Characteristic of ITO-Ag-ITO multilayer thin films grown by linear facing target sputtering system
선형대향타겟 스퍼터로 성장시킨 ITO-Ag-ITO 다층박막의 특성 연구
- Jeong, Jin-A (School of Advanced Materials and Systems Engineering, Kumoh National Institute of Technology) ;
- Choi, Kwang-Hyuk (School of Advanced Materials and Systems Engineering, Kumoh National Institute of Technology) ;
- Lee, Jae-Young (OLED panel Development Team, LG display) ;
- Lee, Jung-Hwan (OLED panel Development Team, LG display) ;
- Bae, Hyo-Dae (OLED panel Development Team, LG display) ;
- Tak, Yoon-Heung (OLED panel Development Team, LG display) ;
- Ye, Min-Su (Department of materials Science and Engineering, Kyungpook National University) ;
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Kim, Han-Ki
(School of Advanced Materials and Systems Engineering, Kumoh National Institute of Technology)
- 정진아 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
- 최광혁 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
- 이재영 (LG 디스플레이) ;
- 이정환 (LG 디스플레이) ;
- 배효대 (LG 디스플레이) ;
- 탁윤홍 (LG 디스플레이) ;
- 이민수 (경북대학교 신소재공학과) ;
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김한기
(금오공과대학교 정보나노소재공학과)
- Published : 2008.11.06
Abstract
본 연구에서는 ITO/Ag/ITO 다층 박막을 유기발광소자와 플렉시블 광전소자의 전극으로 적용하기 위하여 선형 대항 타겟 스퍼터(Linear facing target sputter) 시스템을 이용하여 성막하였고, ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. 선형 대항 타겟 스퍼터 시스템은 강한 일방항의 자계와 타겟에 걸린 음극에 의해 전자의 회전, 왕복 운동이 가능해 마주보는 두 ITO 타겟 사이에 고밀도의 플라즈마를 구속 시켜 플라즈마 데미지 없이 산화물 박막을 성막시킬 수 있는 장치이다. 대항 타겟 스퍼터 시스템을 이용하여 성막한 ITO 전극을 DC power, working pressure, Ar/O2 ratio 에 따른 특성을 각각 분석하였다. glass 기판위에 최적화된 ITO 전극을 bottom layer로 두고, bottom ITO layer 위에 thermal evaporation 을 이용하여 Ag 박막을 6~20nm의 조건에 따라 두께를 다르게 성막하고, Ag 박막을 성막한 후에 다시 bottom ITO 전극과 같은 조건으로 ITO 전극을 top layer로 성막 하였다. 두 비정질의 ITO 전극 사이에 매우 앓은 Ag 박막을 성막 함으로 해서 glass 기판위에 ITO/Ag/ITO 다층 박막전극은 매우 낮은 저항과 높은 투과도를 나타낸다. ITO/Ag/ITO 박막의 전기적 광학적 특성을 보기 위해 hall measurement와 UV/visible spectrometer 분석을 각각 진행하였다. ITO/Ag/ITO 다층 박막 전극이 매우 얇은 두께임에도 불구하고