한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 진공특성 평가

Vacuum level Evaluation of a Rotary Table using Air Bearings for High Vacuum Condition

  • 김경호 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
  • 발행 : 2008.06.11
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