초정밀 미세형상 가공기의 다축오차 측정 및 보정

Measurement and Compensation for Multi-axis Errors of a Ultra Precision Machine Tools for Generating Micro Patterns

  • 황주호 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 송영찬 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
  • 발행 : 2008.06.11