집속이온빔(FIB)로 가공된 10마이크로미터 급의 마이크로 밀링 툴의 제작

Fabrication of 10 micrometer scale micro-milling tools made by focused ion beam

  • 김충수 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 추원식 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 안성훈 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 장동영 (서울산업대학교 산업정보시스템 공학과) ;
  • ;
  • 정범석 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 발행 : 2008.06.11