한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

집속이온빔 밀링 공정을 이용한 나노패턴 가공의 높이 예측

Pattern Height Prediction in Focused Ion Beam Milling Processes

  • 한진 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이희원 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이상조 (연세대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2008.06.11
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드