한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.127-128
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Dispensing nanoimprint lithography 에서 air bubble 최소화를 위한 실험적 고찰

Experimental approach to minimize the air bubble during the imprinting process in dispensing nanoimprint lithography

최성웅 (서울대학교 기계항공공학부) ;
이동언 (서울대학교 기계항공공학부) ;
이우일 (서울대학교 기계항공공학부)

발행 : 2008.06.11

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