한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.129-130
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
플라즈마에칭에 의한 고분자 나노 잔디 구조 제작 및 반사방지막 응용 기술
Fabrication of Polymer Nanograss Structure and Its Application to Anti-Reflective Film by Plasma Etching
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최대근
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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- 이기중 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
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정준호
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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- 김기돈 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
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최준혁
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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이응숙
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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Choi, D.G.
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- Lee, K.J. ;
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Jeong, J.H.
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- Kim, K.D. ;
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Choi, J.H.
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Lee, E.S.
- 발행 : 2008.06.11