한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

AFM용 보이스 코일 구동 방식의 능동 방진 시스템 연구

Active Vibration Isolation System Using Voice Coil Actuators for AFM

  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 최동엽 (삼성탈레스 기계설계그룹) ;
  • 김상유 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2008.06.11
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드