한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.575-576
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

적층형 압전소자 구동기 기반의 2 축 마이크로 스테이지 설계

Design of Two-Axis Micro Stage Based on Stack-type Piezo Actuator

최기봉 (한국기계연구원 나노기계연구본부 나노패터닝장비팀) ;
김기홍 (한국기계연구원 나노기계연구본부 나노패터닝장비팀) ;
이재종 (한국기계연구원 나노기계연구본부 나노패터닝장비팀)

발행 : 2008.06.11

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