한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.573-574
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
355nm UV 레이저를 이용한 음성PR의 마이크로 렌즈 어레이 제작
Fabrication of Micro Lens Array on Negative Photo-resist by 355nm UV Laser Irradiation
- 제순규 (부산대학교 하이브리드소재솔루션) ;
- 박강수 (부산대학교 ERC/NSIM) ;
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박상후
(부산대학교 기계공학부)
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고종수
(부산대학교 기계공학부)
;
- 오재용 ;
- 김광열 (한양대학교 정보전자컴퓨터공학부) ;
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신보성
(부산대학교 ERC/NSIM)
- Je, S.K. ;
- Park, K.S. ;
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Park, S.H.
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Ko, J.S.
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- Oh, J.Y. (SFA Engineering Corporation) ;
- Kim, K.R. ;
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Shin, B.S.
- 발행 : 2008.06.11