Autofocus system for off-line error compensation in micro laser fabrication process

Laser 가공용 자동초점장치를 이용한 off-Line 오차보상에 관한 연구

  • 김상인 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 이광일 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 김호상 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 이경돈 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터)
  • Published : 2008.06.11