한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.943-944
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

전자빔 리소그래피용 칼럼 렌즈의 자계 분석 시스템 개발

Analysis system development of column lens used to Electron Beam Lithography

인재준 (공주대학교 기계자동차공학부) ;
이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)

In, J.J. ;
Lee, E.K.

발행 : 2008.06.11

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