Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Electric Characteristics of $HfO_$2 deposited by Atomic Layer Deposition

  • 김수현 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박재경 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2008.08.20
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Abstract

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