Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The effect of substrate bias on the perferred-orientation and microstructure of TiN films

기판 바이어스 전압변화에 따른 TiN박막의 배향성 및 미세구조 변화

  • 서현 (목포대학교 신소재공학과) ;
  • 한만근 (목포대학교 신소재공학과) ;
  • 박원근 (목포대학교 신소재공학과) ;
  • 서평섭 (목포대학교 신소재공학과) ;
  • 전성용 (목포대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.05.27
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Abstract

본 연구는 기판 바이어스 전압변화에 따른 DC 스퍼터링 TiN 박막의 우선 결정배향성, 표면조도, 평균결정립 크기 및 단면 미세구조에 미치는 영향에 대해 조사하였다.

Keywords