Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.204-204
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- 2009
Texture control and optical properties of ZnO films by inductively coupled assited chemical vapor deposition
유도결합 화학 기상 증착법(ICP-CVD)를 이용한 ZnO 박막의 texture조절 및 광학적 특성 평가
- Published : 2009.05.27
Abstract
추가적인 습식 에칭 공정 없이 유도결합 화학 기상 증착법을 이용하여 공정변수 조절만으로 ZnO 박막의 texture와 표면 거칠기를 조절하여 Hzae 특성을 향상시켰다.
Keywords