Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Growth mechanism of oxide barriers on plasma and ion-beam treated polymer substrates

  • 윤정흠 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정연구부) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정연구부) ;
  • 정유정 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정연구부) ;
  • 이건환 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정연구부)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

알루미나와 실리카로 대표되는 투명 산화물 박막은 폴리머 기판상의 투습 방지막으로 응용되고 있으며, 플라즈마와 이온빔을 이용한 폴리머 기판 전처리를 통해 산화물 박막의 투습 특성을 향상시켰다. 기상 증착된 산화물 박막의 성장 거동에 대한 전처리 후 폴리머 기판의 wettability와 morphology의 효과를 확인하였으며, 그 폴리머 기판상에 증착되는 산화물 박막의 성장 메카니즘을 제안하였다.

Keywords