Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.127-127
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- 2009
Numerical modeling of ICP with pulsed dc bias using CFD-ACE+
CFD-ACE+를 이용한 ICP + pulsed dc bias system의 수치 모델링
Abstract
고밀도 유도 결합 플라즈마와 함께 -1 kV의 높은 펄스 직류 바이어스를 이용한 플라즈마 공정 장치를 CFD-ACE+를 이용하여 시변 모델로 해석하였다. 수 kHz의 낮은 펄스주파수와
Keywords