Design of Vapor Deposition System for Prediction & Control of Coating Characteristics

코팅 특성 예측 및 제어를 위한 증착 시스템 설계

  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
  • 이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구본부) ;
  • 박종원 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구본부) ;
  • 박영희 (포항산업과학연구원 마그네슘연구단) ;
  • 허규용 (포항산업과학연구원 마그네슘연구단)
  • Published : 2009.10.14