Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Machanical and electrochemical properties of CrZrN coatings as a function of $N_2$ partial pressure synthesized using a Cr-Zr segment target

  • 김영수 (한국항공대학교, 항공재료공학과) ;
  • 이하나 (한국항공대학교, 항공재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교, 항공재료공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

Cr과 Zr의 segments(Cr:Zr= 50:50 vol.%)로 구성되어진 단일타겟을 이용하여 CrZrN 박막을 합성하였다. CrZrN 박막은 비대칭 마그테트론 스퍼터링법을 이용하였으며, 공정조건 중 질소분압을 변화시켜 CrZrN 박막을 합성하였다. 질소분압 변화에 따른 CrZrN 박막의 기계적, 화학적 특성들의 변화를 분석하였다.

Keywords