한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.19-20
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
모니터링을 통한 사파이어 기판 연마에서의 마찰 특성
Friction Monitoring of Sapphire Substrate during Polishing
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이호준
(부산대학교 기계공학부)
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이창석
(부산대학교 기계공학부)
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- 최성하 (부산대학교 기계공학부) ;
- 신운기 (부산대학교 기계공학부) ;
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이현섭
(부산대학교 ERC)
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- 조형호 (한국생산기술연구원 융합부품소재센터) ;
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정해도
(부산대학교 기계공학부)
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Lee, H.J.
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Lee, C.S.
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- Choe, Seong-Ha ;
- Shin, W.K. ;
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Lee, H.S.
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- Cho, H.H. ;
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Jeong, H.D.
- 발행 : 2010.11.11