극초단 펄스 레이저 직접 묘화법을 이용한 광소자 제작기술

Photonic Device Fabrication Using Ultrashort Pulse Laser Direct Writing

  • 최지연 (한국기계연구원 나노융합시스템생산본부 광응용생산기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 나노융합시스템생산본부 광응용생산기계연구실) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 나노융합시스템생산본부 광응용생산기계연구실)
  • 발행 : 2010.11.11