한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

집속이온빔을 이용한 축대칭 마이크로 구조물의 가공공정에 대한 연구

Fabrication of Rotational Symmetric Microstructure Using Focused Ion Beams

  • 김충수 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 안성훈 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 산업정보시스템공학과) ;
  • 김형중 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김동현 (서울대학교 기계항공공학부)
  • 발행 : 2010.11.11
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