한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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Pages.403-404
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2010
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Softlithography 의 ${\mu}CM$ 기법에서 웨이퍼의 균일 잉크 분포를 위한 잉크와 회전수의 영향

Effect of the ink and number of rotations for the uniform ink distribution of the wafer from Softlithography ${\mu}CM$ techniques

김광영 (한국기계연구원) ;
김태걸 ((주)대진유압기계) ;
김태호 ((주)대진유압기계) ;
윤두표 (마산대학) ;
최병오 (한국기계연구원)

발행 : 2010.11.11

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