한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

간섭 리소그라피를 이용한 대면적 나노플라즈모닉 분자 감지 센서용 dot 패턴 제작

Fabrication of Large Area Nano-dot Pattern for Nano-Plasmonic Sensors using Laser Interference Lithography

  • 김기홍 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
  • 임형준 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
  • 이재종 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
  • 최기봉 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
  • 이성휘 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부)
  • 발행 : 2010.11.11
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