한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

KOH 이방성에칭을 이용한 나노채널 및 나노와이어 제작

Fabrication of Nanochannel and Nanowire by Using KOH Anisotropoic Etching

  • 이강호 (서울과학기술대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 조영학 (서울과학기술대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 배윤기 (서울과학기술대학교 산업대학원) ;
  • 김성동 (서울과학기술대학교 기계설계자동화공학부)
  • 발행 : 2010.11.11
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