Cold hollow cathode 방식의 고밀도 이온소스에 관한 연구

A Study on the cold hollow cathode ion source for high current density

  • 최성창 (송도테크노파크 나노표면기술실) ;
  • 강인철 (송도테크노파크 나노표면기술실) ;
  • 한재길 (송도테크노파크 나노표면기술실)
  • 발행 : 2010.11.11