한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.539-540
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
Cold hollow cathode 방식의 고밀도 이온소스에 관한 연구
A Study on the cold hollow cathode ion source for high current density
- 발행 : 2010.11.11