한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

피코초 레이저의 펄스제어모드에 따른 실리콘의 드릴링특성 비교

Effect of Pulse Mode on TSV Drilling Process using a Picoscond Laser

  • 신동식 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 김경한 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실)
  • 발행 : 2010.11.11
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