설계 단계에서의 공기정압 베어링 회전테이블 성능계산/평가에 관한 연구

On the Performance Prediction/Assessment of Aerostatic Bearing Rotational Table

  • 심종엽 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실)
  • 발행 : 2012.10.24