한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.773-774
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구
A design of Ion-miller for ion beam measuring method
- 발행 : 2013.05.29