Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Optimization of reactive nano-foil by the magnetron sputtering and industrial application

마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용

  • 조용기 (한국생산기술연구원 열처리그룹) ;
  • 이원범 (한국생산기술연구원 열처리그룹) ;
  • 유세훈 (한국생산기술연구원 열처리그룹) ;
  • 최윤 (아텍시스템)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

Al과 Ni이 나노 두께로 적층되어 있는 나노 포일은 외부의 촉발에 의해 원자수준의 상호 확산을 통해 합금화 된다. AlNi 합금이 되서 $-{\Delta}H$의 변화로 인하여, 외부에 열을 공급하게 되어 최대 엔탈피의 변화 일어날 수 있는 Al과 Ni의 혼합비율을 조사하였다. 나노 포일의 제조 공정은 마그네트론 스퍼터링을 이용하였으며, 나노 박막의 두께 및 적층 공정에 대한 공정 최적화를 하였다. 제조된 나노 포일은 금속-세라믹의 상온접합을 실시하여 산업적 응용에 대한 가능성을 고찰하고자 하였다.

Keywords