Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effect of Microstructure on Mechanical Properties of Thin Films

박막의 미세구조가 물리적 특성에 미치는 영향

  • 양지훈 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구그룹) ;
  • 김성환 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구그룹) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구그룹) ;
  • 송민아 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구그룹) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구그룹)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

TiN 박막의 미세구조를 공정 변수인 기판 전압, 기판과 타겟의 각도 등을 이용하여 변화시켜 박막의 물리적 특성을 평가하였다. TiN 박막은 음극 아크 증착법을 이용하여 기판에 코팅하였다. TiN 박막은 기판과 타겟의 각도를 제어하면 기판에 수직한 주상과 일정한 각도를 갖는 주상으로 성장하는 것을 확인하였다. 기판과 타겟의 각도를 일정하게 유지한 경우에도 기판에 전압을 인가하면 TiN 박막의 주상이 기판과 수직하게 성장하는 것을 확인하였다. 기판과 타겟의 각도와 기판 전압을 활용하면 TiN 박막의 미세구조를 다양하게 변화시킬 수 있었다. TiN 박막의 미세구조 변화는 물리적 특성 변화에 영향을 준 것으로 판단되며 기판 전압과 각도를 인가하지 않은 TiN 박막보다 미세구조가 변화한 박막이 높은 경도를 보였다.

Keywords