Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study of coating process for mass production of non-hydrogen Diamond like carbon films using filtered vacuum arc method

자장 여과 진공 아크법으로 증착되는 수소 없는 DLC 막의 양산을 위한 코팅 공정 연구

  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 김기택 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 김동식 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 강용진 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소 실용화사업단 표면처리팀)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

최근 비철소재 가공용 공구의 이형성 향상 코팅 및 자동차 부품의 고온 환경에서 사용할 수 있는 코팅으로 유망한 수소가 없는 비정질 다이아몬드 카본 막 (Non-Hydrogen Diamond Like Carbon films : ta-C)을 양산할 수 있는 코팅 시스템에 대한 연구 결과를 발표하고자 한다. 본 시스템은 Diamet-600이라고 하며 ta-C의 처리폭은 350 mm, 직경 450 mm 8축 공자전 치구에서 400nm/h의 증착률을 가지며, 막의 경도는 최대 65GPa을 달성하였다.

Keywords