Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2015.05a
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- Pages.76-76
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- 2015
Properties of nanocomposite coatings by Hybrid coating
Hybrid 코팅에 의한 나노컴포지트 코팅의 특성
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Lee, Gyeong-Myeong
(KPTU CO., Ltd.)
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Lee, Jae-Hwan
(KPTU CO., Ltd.)
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- Jeong, Bong-Yong (Eco & Bio Convergence Team, Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
- Published : 2015.05.07
Abstract
PVD에 의한 증착 대상 물질인 Ti, AlSi, Cr 및 각각의 타겟 전류, 바이어스, 압력 조건 들을 설계하여 적용시켰으며 PECVD와 CBC 코팅을 조합하여 발생되는 새로운 나노 멀티박막의 특성을 본 연구에서는 시험분석 및 평가하였다. 코팅층 깊이에 따른 조성 변화는 XPS를 이용하였으며 미세조직 및 표면 상태는 FE-SEM을 이용한 정밀 분석을 실시하였다. 또한, 박막의 경도는 나노인덴터를 이용하여 박막 자체의 경도만을 분석하였다. 한편, Pin-on-disk 방식의 마모시험기를 이용하여 표면조도와 상대재의 처리 상태에 따른 마찰계수를 시험 평가하였다.
Keywords