Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The Mechanical Properties of The Compound Layer of Nitrided AISI 4140 Using a PECVD

PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구

  • 정연주 (한국생산기술연구원 열처리연구실용화그룹) ;
  • 박현준 (한국생산기술연구원 열처리연구실용화그룹) ;
  • 김형순 (인하대학교 신소재공학과) ;
  • 문경일 (한국생산기술연구원 열처리연구실용화그룹)
  • Published : 2015.05.07
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

산업이 발달되고 제품이 소형화 및 고품질화됨에 따라 그에 따른 제품의 품질 조절이 용이하고 자동화하기 쉬울 뿐만 아니라 공해문제 및 후가공 문제 등이 없는 이온질화 열처리 기술의 보급이 급속도로 확산되고 있다. 특히 플라즈마 이온질화는 가스조성, 처리온도, 질화시간, 가스압력 및 인가전류를 조절함으로써 질화층은 물론 화합물의 상을 용이하게 조절할 수 있다. 위와 같은 변수들을 조절함으로써 PECVD 장비에서 DC pulse power를 사용하여 플라즈마 질화법으로 질화처리하였으며 AISI4140강에서 화합물층의 유무에 따른 기계적인 특성을 비교 조사하고자 하였다.

Keywords