Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Window monitoring of vacuum chamber using laser hologram

레이저 홀로그램을 이용한 진공챔버 윈도우 모니터링

  • 서준현 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 정진수 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교 전자공학과)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

레이저 홀로그램 이미징 장치를 이용하여 진공챔버의 윈도우 면에서의 입자에너지 분포를 추출하는 센서의 성능을 보고한다. 레이저 홀로그램 센서는 윈도우 면에서의 입자수의 변화를 모니터링할 수 있음을 보였으며, 반복되는 플라즈마 공정 중에 윈도우나 챔버 벽에 증착되는 입자의 두께 변이의 모니터링에의 응용이 기대된다.

Keywords