Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Improved Correlation between Laser Hologram and Plasma Ion Flux

레이저홀로그램과 플라즈마 이온 플럭스간의 개선된 상관 관계

  • 정진수 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 서준현 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교 전자공학과)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

레이저 홀로그램에서 추출한 입자 데이터와 Langmuir probe로 측정한 이온 플럭스간의 개선된 상관관계를 보고한다. 레이저 홀로그램 센서 시스템을 이용하여 척 온도 변화에 따른 플라즈마 공간에서의 입자에너지 분포를 이미징하였다. 진공에너지분포를 뺀 에너지분포에 나타나는 두 종류의 분포에 관여하는 전체 입자수 분포는 이온플럭스 데이터와 전체 온도 범위에서 매우 유사한 경향성을 보였다.

Keywords