VRT 서-보 위상제어용 집적회로의 설계 및 제작

Design and Fabrication of VTR Servo Phase Control IC

본 논문은 YTR servo계의 위상을 제어하는 위상제어용 집적회로의 설계및 제작에 대하여 기술한다. 6μm 설계법칙을 적용하여 설계하였으며 ?의 크기는 3.6×3.55mm²이다. SBC공정, analog-compatible I2L공정및 이중금속배선공정을 이용하여 집적회로를 제작하였다. 그 결과 D.C특성및 위상제어기능이 만족스러운 직접회로의 제작에 성공하였다.

This paper describes the design and fabrication of an integrated circuit which controls the phase of VTR servo systems. The integrated circuit was designed using 6#m design rule and its chip size is 3.6$\times$3.55mm$^2$. On the other hand it was fabricated using SBC, analog-compatible 12 L and double layer metal fabrication process technology. As a result, we succeeded in fabrication of If which satisfied D. C. characteristics and phase control function.