$(\textrm{Fe}_{1-x}\textrm{Co}_{x})_{89}\textrm{Zr}_{11}$ 비정질 자성박막의 자기특성(l)

Magnetic Properties of $(\textrm{Fe}_{1-x}\textrm{Co}_{x})_{89}\textrm{Zr}_{11}$ Amorphous Films(l)

  • 김상원 (포항산업과학연구원 소재연구부문 전자기연구팀) ;
  • 김찬욱 (포항산업과학연구원 소재연구부문 전자기연구팀)
  • 발행 : 1997.12.01

초록

RF스퍼터링법으로 제작한 비정질(Fe$_{1-x}$ Co$_{x}$)$_{89}$Zr$_{11}$자성박막의 자기특성을 Co농도 X에 따라 조사하였다. 130 Oe의 인가자기중 1$50^{\circ}C$에서 90분간 열처리하였을 때 X=0.4, 0.5부근의 박막은 높은 자왜를 나타냄에도 불구하고 양호한 연자기 특성을나타내었다. 특히 X=0.4의 박막에서는 0.25 Oe의 낮은 보자력이 나타났으며, 1MHz, 50mOe의 여기자기장에서 측정된 교류투자율은 900정도였다. 본 연구의 박막에서 얻어진 우수한 자기특성은 외부자기장의 인가에 의해 특성의 변화가 가능한 표면탄성파(surface acoustic wave)소자에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.된다..된다.

키워드

참고문헌

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