마이크로 관성 센서의 기술현황과 전망

  • 이병렬 (서울대 공대 전기공학부 미세기술연구실) ;
  • 김서규 (서울대 공대 전기공학부 미세기술연구실) ;
  • 전국진 (서울대 공대 전기공학부 미세기술연구실)
  • Published : 2000.12.01