전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

MEMS 기술을 이용한 감지 및 제어기의 기술동향

  • 박세광 (경북대 전자전기공학부) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터 책임연구원)
  • Published : 2000.12.01
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Abstract

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