Journal of the Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회지)
- Volume 17 Issue 6
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- Pages.40-45
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- 2000
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- 1225-9071(pISSN)
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- 2287-8769(eISSN)
Nanometrological Application of X-ray Interferometry
엑스선 간섭계를 이용한 초정밀측정
Abstract
교정은 모든 측정분야에서 어렵고 까다로운 주제인데, 특히 정전센서, 레이저간섭계, AFM, STM 등을 포함하는 나노메트롤로지(nanometrology : 나노측정) 분야에서는 그러하다. 나노측정에서는 전체 측정범위가 센서들의 한계분해능 값과 비슷한데, 이러한 측정에서 높은 소급성을 유지하기는 매우 어렵기 때문이다.(중략)