참고문헌
- 竹田 菊男외3명, 'クリ-ンル-ム 空氣およびウェ-ハ表面の有機物汚染擧動,' 일본공업출판 Clean Technology, 제9권, 제1호
- 藤本武利외 8명, 'クリ-ンル-ム 空氣中およびウェハ表面上の有機汚染物の分析,' 일본 에어로졸학회, 제15권, 제1호, pp. 155-162, 2000
- 藤本武利외 6명, 'クリ-ンル-ム 空氣中ホウ素の超微量正量と存在狀態の考察,' 일본 에어로졸 학회, 제15권, 제2호, pp. 155-162, 2000
- 藤本武利, '半道體製造工程における汚染制御對象物質の動向,' ェアロゾル硏究, 제14권, 제1호, pp. 19-26, 1996